为一维Z向运动压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现Z向250μm位移。压电定位台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。平台可选真空兼容版本，平台中的部件均适合于真空应用，真空度可达1×10^(-5)mbar。
闭环版本定位精度高
产品特点
•一维Z向运动
•行程可达250μm
•承载可达1kg
•可选真空兼容版本
应用
•计量/干涉/扫描
•纳米定位
•光盘驱动测试
•半导体技术
•质量保证测试
•微加工/精密控制
技术参数
型号：
运动自由度：Z
标称行程范围（0~120V）：200μm
行程范围（0~150V）：250μm
传感器类型：SGS
闭/开环分辨率：10/3nm
闭环线性度：0.4%
重复定位精度：0.1%
空载谐振频率：260Hz
承载能力：1kg
静电容量：21.6μF
工作温度范围：-20~80℃
材质：钢、铝
重量（不含线）：0.4kg
真空度：1×10^(-5)mbar
外形尺寸（长×宽×高）：80×60×20mm
出线长：1.5m
